作者：ShuichiShoji,ShigeruNakagawa,MasayoshiE(?)ashi,柯导明 单位：东南大学 出版：《电子器件》1990年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1990030150 DOC编号：DOCDZQJ1990030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 用微机械加工的方法，可以制作超小型的高性能化学传感器和用作流量控制的微型阀.如果这些器件被集成在一块硅片上，就能制成非常小的常规化学分析系统.这种微型分析系统优点是灵敏度高，响应快，几乎有没死区，所需的采样量非常少.为了制作诸如流体注入分析器(FIA)这样完善的化学分析器单片集成系统，必须把微型泵和采样注入器造在硅片上.微型泵由一个压力执行器，二个逆止阀和一个由压力执行器驱动的薄膜片组成，这个结构如图1所示.逆止阀用多晶硅作为材料，磷硅玻璃(PSG)作为牺牲层，制造工艺和IC工艺完全兼容。

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