《微型机械研究的现状及展望》PDF+DOC
作者:王立鼎,崔天宏,吕琼莹
单位:中国科学技术协会
出版:《》
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFKJDB1993120150
DOC编号:DOCKJDB1993120159
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《微机电一体化与纳米技术》PDF+DOC1995年第03期 赵玉珍,段宝岩
《微米/纳米技术及其应用》PDF+DOC1996年第03期 赵玉珍,段宝岩
《微型机械研究的现状及应用前景》PDF+DOC1997年第02期 曹焕亚
《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳
《微机械技术在航天传感器技术中的运用分析》PDF+DOC2016年第04期 孙烨
《压电陶瓷-金属复合体及其应用》PDF+DOC1998年第01期 周桃生,吴静,邝安祥
《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC1995年第S1期 费龙,钟先信,温志渝,徐涛
《压电及其它功能器件》PDF+DOC1995年第05期
《一种实用的超微技术─—LIGA技术及其应用》PDF+DOC1994年第03期 俞鹰
《微型机械发展趋势》PDF+DOC 杨欣蓉
微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。
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