作者：戈云 单位：中国科学院成都文献情报中心 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSJKF1991060100 DOC编号：DOCSJKF1991060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 用微加工技术制造的零件(如使核反应堆中的气体分子发生偏折的喷嘴等)已经投入了使用。未来可能开发出的种种微结构中，包括用于监视癫痫病人的大脑细胞的传感器。微加工技术已经使电子工业发生了翻天覆地的变化。某些观察家现在认为，具有三维功能的集成电路(IC)的制造技术的发明，其重要性不亚于电子技术发展初期晶体管的发明。

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