作者:牛蒙年,鲍凤岐 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》1991年第02期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS1991020040 DOC编号:DOCCGJS1991020049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文试图对半导体陶瓷气敏元件的敏感机理提出理论模型。假定吸附表面态由吸附的氧离子构成,则在吸附还原气体时,将伴随着向体内发射自由电子。运用统计热力学的一般方法给出电导率随气体浓度、加热温度以及材料参数变化的解析表达式,从而得到灵敏度与加热温度、气体浓度和材料参数的定量关系,所得结果与实验结果基本符合。

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