作者：鲍敏杭 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1993年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1993060000 DOC编号：DOCYBJS1993060009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文从历史的角度总结了微机械技术的出现、发展的历程、它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以1993年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据，介绍了微机械技术的最新进展与突破。

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