作者:廉仲,王庭树 单位:电子科技大学 出版:《电子科技大学学报》1991年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDKDX1991030140 DOC编号:DOCDKDX1991030149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《玻璃与玻璃陶瓷蚀刻成型元件》PDF+DOC1994年第04期 大舟 《机械电子学的进展与前景》PDF+DOC2000年第09期 万遇良 《微机械惯性传感器》PDF+DOC1999年第08期 李志宏,杨振川,武国英 《微电子技术新领域》PDF+DOC1999年第04期 陈克金,邵凯 《国外转速计量概况》PDF+DOC1975年第06期 汪汉春 《扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究》PDF+DOC2006年第03期 王凌云,刘益芳,孙道恒 《市场角》PDF+DOC2003年第12期 《微角速度传感器在不同气压下的振动特性》PDF+DOC2002年第06期 陈志勇,高钟毓,张嵘 《微机电系统技术的研究现状和展望》PDF+DOC2011年第04期 严宇才,张端 《一种微机械加速度计的自检测特性研究》PDF+DOC2008年第03期 陈伟平,韩天,赵振刚,刘晓为,孙立宁,曹伽牧
  • 综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景。

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