《微机械电子学—机械电子学的新发展》PDF+DOC
作者:廉仲,王庭树
单位:电子科技大学
出版:《电子科技大学学报》1991年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDKDX1991030140
DOC编号:DOCDKDX1991030149
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综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景。
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