作者：Richard S.Muller,吴洪江 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》1990年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ1990030070 DOC编号：DOCBDTQ1990030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《微型运载系统构成原理的研究》PDF+DOC1996年第03期 崔天宏,王立鼎,吕琼莹 《微机械的市场调研》PDF+DOC1994年第01期 大舟 《从集成电路迈向微系统》PDF+DOC1998年第18期 王阳 《拾光型光纤位移传感器及其应用》PDF+DOC1996年第04期 李萍,张殿富 《CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2003年第06期 顾磊,秦明,黄庆安 《市场角》PDF+DOC2003年第12期 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《故障自动防护微机械角速度传感器》PDF+DOC2010年第05期 Michael Kandler 《MEMS微电子机械系统与流程工业自动化》PDF+DOC2009年第07期 卞正岗

    • 实验证明可以做出转子直径为0.1mm的电动电机，它为微系统的发展开辟了前景。在用IC工艺做出的材料上形成机械结构，并由此做出精细的器件。这表明，有可能设计出高性能的传感器和致动器，并且能与片上电路相结合。这项研究可能会导致新一代的对工程设计有巨大影响的微系统。这种来源于IC工艺的特殊有效的技术是采用多晶硅和氮化硅作机械材料的。通过腐蚀二氧化硅“牺牲”层使微结构脱离衬底。这种技术开始用来制作静电驱动共振电桥，后又用来制作转动和滑动结构、齿轮、弹簧和最近的徽型电机。需要研究形成微动态结构的电材料的机械特性(这些材料以前专门用在电气学方面)、机械设计的精缩和计算机辅助的有效利用，以提供技术基础，才能完全开发这项技术。微动态元件驱动器电路及信号处理电路向VLSI的设计者们提出了新的挑战。

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