作者：张光照,卢慧斌 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1993年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1993030120 DOC编号：DOCCGQJ1993030129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 扩散硅压力芯片和硅环基座封接采用金硅共熔工艺，硅环通过引压管和底座封接，整个力敏器件的结构是浮动式，这样大大减小了芯片周围的应力。芯片外面是充满硅油的膜盒腔。扩散硅芯片内引线采用高掺杂浓度导电带，外引线用金丝，热压焊和超声焊相结合，保证接点有良好的导电性能。这些措施减小了压力变送器的时漂，提高了可靠性。变送器的零点和灵敏度热漂移经过外电路补偿后显著降低。通过两种不同的外电路分别组成电压电流输出的压力变送器，在-20～70℃范围内，准确度为&#177；0.5％F.S，输出信号可为0～5V，4～20mA，1～5V。可广泛用于宇航，石油化工等领域测气体、液体介质的压力。

    📙 相关资料

    1. 《隔膜压力变送器缺油故障处理》PDF+DOC 隔膜压力变送器是氧化铝生产中最常见的仪表之一，隔膜压力变送器一般不会存在物理性损坏，最常见的故障无非是零点漂移、压力传感器损坏和缺油等。零点漂移故障一般是可以用手操器手动调整的；压力传感器损坏只能进行更换，而且很多品牌的压力变送器传感器是整体封装的，根本无法更换或备件无从采购，只能报废；只有缺油故障......
    2. 《压力传感器的芯片封装技术》PDF+DOC 对压力传感器芯片的各种封装技术作了比较和讨论，指出它们的优缺点和适用场合。还对各种封接键合材料的特性作了概括。...
    3. 《压力敏感元件封接处开裂问题探讨》PDF+DOC 压阻式压力敏感元件封接处开裂问题，出现在扩散硅芯片与玻璃封接处。这种开裂受机械、热应力及封接操作方法等因素影响。本文提出了开裂机理，认为开裂与芯片的边缘条件及封接过程有关。对容易在温度变化或机械震动下发生开裂的传感器，我们给出了一种非破坏性连续筛选试验、“合格／不合格”的判别依据和具体分析结果。最后......
    4. 《硅压力传感器的静电封接技术》PDF+DOC 一、前言 我所在研制压力传感器过程中，静压膜合的气密封接经过了较长时间的工艺实践，先后采用过不同形式的熔接方式，如金硅共熔，低温玻璃封接等。较好的解决这一技术问题还是静电封接。静电封接原理目前引起了人们广泛的兴趣，两种不同的材料处在固态情况下，借助电场力的作用，将封接件牢固地结合在一起。其优点...
    5. 《CGW—1单晶硅微压传感器简介》PDF+DOC 一、结构与工作原理 CGW-1单晶硅微压传感器是利用硅的压阻效应，以硅平面工艺为基础制成的一种新型压力传感器，也称压阻传感器。其结构如图。硅膜片组件是传感器的核心，在N型(111)硅膜片(图右部)的&lt；110&gt；晶向上，在等效应区扩散12个P型电阻，选择一组最佳电阻组成电桥，......
    6. 《压阻传感器的封装新技术——低温玻璃烧结工艺》PDF+DOC 前言 近十年来，国内半导体压阻传感器的研制和生产获得迅速发展，这是由于它具有灵敏度高，频率响应快，体积小，性能稳定、可靠，寿命长等特点，使之在国民经济各个领域获得广泛应用。每一次压阻传感器性能的较大提高都是和采用先进的新技术、新工艺分不开的。在过去和将来的一段时间内，封装技术落后仍然是阻碍压阻传感器......
    7. 《硅芯片外引线键合的热压焊装置及焊接工艺》PDF+DOC 针对压阻式微型压力传感器封装工艺中，硅芯片外引线键合的要求，分析了热压焊引线键合原理，研制了热压焊装置。在扫描电镜下，对键合点进行了微观分析。使用接合强度测试仪对压焊键合点强度进行了拉断试验，测得键合强度拉断力都在0.17 N之上。通过对金铝压焊处金属间化合物及其扩散深度随温度增长关系的研究，键合时......
    8. 《桥梁结构健康监测工厂化仪表集成设计》PDF+DOC 桥梁结构健康监测系统实施环节众多而且周期长，为了提高系统实施的效率和质量，有必要进行工厂化实施。本文以曹妃甸1#桥系统为例对工厂化实施进行了积极的探索。...
    9. 《低阻压阻压力变送器的设计及性能测试》PDF+DOC 采用AD公司的AD693数字信号调理芯片，设计了一款低阻压阻压力变送器，给出了详细的应用电路设计方案，并且进行了相应的静态测试。测试数据表明，该变送器在20℃~60℃范围内具有优良的静态性能，以及非常理想的时漂，稳定性优于0.1%。...
    10. 《基于ANN的应变天平漂移抑制》PDF+DOC 应变式称重传感器有成本低，结构简单等优点，但它存在时漂、温漂和蠕变，加上输出幅度小，需要高倍数的放大电路，由此引入1/f噪声，以上因素均制约应变天平精度地提高。这些噪声最后表现为应变天平结果的漂移，针对漂移变化缓慢的特点，采用一种基于人工神经网络(ANN)的模型对它进行估计，从而进行有效地抑制。文中......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。