《控制薄膜淀积的设备》PDF+DOC
作者:中尧
单位:西南技术物理研究所
出版:《激光技术》1991年第01期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGJS1991010230
DOC编号:DOCJGJS1991010239
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《武汉海创电子有限公司》PDF+DOC2008年第02期
美国Sycon仪器公司的STS-200型薄膜淀积厚度/速度控制仪具有用于多层复合晶体制备的9流程、99层程序设计。该仪器采用6MHz石英晶体作传感器,把数据显示在4.5英寸的
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