《硅片传输中的预对准方法》PDF+DOC
作者:杨建忠
单位:中国电子科技集团第四十五研究所
出版:《电子工业专用设备》1993年第04期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDGZS1993040050
DOC编号:DOCDGZS1993040059
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本文叙述了硅片自动传输中片子位置精度的预对准方法。并汇集了常见的具有代表性的十几种典型的预对准结构,介绍了其实现的途径和特点。
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