《日制成可高精度定位的原子力显微镜》PDF+DOC
作者:双火
单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
出版:《激光与光电子学进展》1992年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJGDJ1992030400
DOC编号:DOCJGDJ1992030409
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日本电报电话公司研制成可进行高精度定位的原子力显微镜,其特点是使用压电元件,这种压电元件在对观察样品定位时,如有电流流过便有微小变化,并通过传感器观察微小位置变化。历来是用肉眼对样品定位,因而精度差。研制的原子力显微镜,把样品台置于呈圆柱形的压电元件上。压电元件在流过电流时发生变形,利用磨擦力可使样品在台上稍有滑动。这种微小位移可用光
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