作者：龚振邦,陈振华 单位：南京电子技术研究所 出版：《电子机械工程》1992年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJX1992040030 DOC编号：DOCDZJX1992040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《机械电子学的进展与前景》PDF+DOC2000年第09期 万遇良 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC2002年第08期 徐小云 ,颜国正 ,丁国清 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC2000年第08期 梁静秋 《传感技术的研究现状》PDF+DOC1996年第01期 罗子铉 《微电子机械系统在生物医学领域中的应用》PDF+DOC1996年第01期 马建旭,王立鼎,吴一辉 《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2005年第01期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳

    • 本文介绍了八十年代后期崛起的微机械技术发展动向概况，提出了从机电一体化角度考虑的微机械的定义，并从微机械的应用技术角度出发，归纳了发展微机械的几个主要相关技术：微机械的机构与结构设计、微马达和微传动、微传感器、微控制——智能系统、微电池电源以及材料与三维蚀刻工艺。最后对我国发展微机械技术提出三点建议。

    📙 相关资料

    1. 《机械电子学的进展与前景》PDF+DOC 着重讨论机械电子学的进展、特征及其主要发展前景──数字化、智能化和微型化。...
    2. 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC 微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ，讨论了MEMS的应用 ，并阐述了MEMS的发展趋势...
    3. 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC 本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系林及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。...
    4. 《传感技术的研究现状》PDF+DOC 本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状。传感器在集成化、系统化方面的研究取得了明显成果，基础研究得到了加强。微机械电子系统正日益受到重视。...
    5. 《微电子机械系统在生物医学领域中的应用》PDF+DOC 本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势；阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向；并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作；最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景。...
    6. 《微电子机械系统》PDF+DOC 本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。...
    7. 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC MEMS技术是一门新兴的技术，近年来，越来越受到世界各国的重视。以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势，并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析。...
    8. 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC MEMS技术作为一门新兴的技术，越来越受到世界各国的重视。文中主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势，并对MEMS技术面临的问题进行了简要分析。...
    9. 《微机电系统技术进展》PDF+DOC 概述了微机电系统(MEMS)的发展史，综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术，微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统，介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用。...
    10. 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC 近年来传感技术迅速发展，传感器新原理、新材料和新技术的研究更加深入、广泛，传感器新品种、新结构、新应用不断涌现、层出不穷，现在新型传感器研发的重点领域主要有以下几个方面。一、基于MEMS技术的新型传感器微传感器(尺寸从几微米到几毫米的传感器)特别是以MEMS(微电子机械系统)技术为基础的传感器已逐步......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。