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1. 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振......
2. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
3. 《硅微机械谐振压力传感器技术发展》PDF+DOC 硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一，是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果，简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理，针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结......
4. 《微结构谐振传感器》PDF+DOC 阐述了频率输出的新型谐振传感器的发展方向之一——微型化。评价性地论述了热激励硅谐振压力传感器和热激励谐振膜质量流量传感器。重点讨论了热激励的原理，特点等。指出我国应对传感器的这一发展趋势给予足够的重视。...
5. 《一种在芯片上带有补偿电路的通用硅压力传感器》PDF+DOC 本文提出了一种硅压阻式压力传感器校准和温度补偿的新思想，根据这种思想，把压阻惠斯顿电桥同可调的多晶硅电阻电路组合在同一芯片上，本文叙谜了这种传感器的设计、制作及其测最特性。...
6. 《在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器》PDF+DOC 引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外，谐振传感器因为它们输出频率而适于把信号传送到计算机。...
7. 《压电激励谐振筒压力传感器的振型研究》PDF+DOC 本文对用压电陶瓷元件作为激、拾振源的谐振筒压力传感器如何选择陶瓷片的位置，才能保证传感器在要求的量程内达到振型稳定，作了详细的分析论证。又从理论上论证了双模态测量原理的可行性。...
8. 《一种用于集成化传感器的多晶硅的微机械加工新技术》PDF+DOC 用选择腐蚀多晶硅下面的氧化层的方法能制备出多晶硅微细加工的结构。该微细加工技术的优点在于其简单性和与常规集成电路的兼容性。由于多晶硅内部的压应力，使微结构的尺寸受到了限制，但通过退火可使内部压力减少。本文描述了将一个谐振多晶硅微桥和NMOS单片电路结合在一起的集成蒸汽传感器的制作方法。频率响应测量表......
9. 《基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现》PDF+DOC 详细介绍了Druck RPT 200型硅谐振压力传感器的工作原理，阐述了大气数据系统的结构、建模及硬件实现等研制过程；该系统采用Druck RPT 200型硅谐振压力传感器替代原振动筒式压力传感器测量压力，并采用小型单板计算机作为大气数据系统的嵌入式计算机，实现高度、空速和马赫数等参数的计算，并由显......
10. 《热激励硅谐振梁压力传感器开环测试系统设计》PDF+DOC 设计了一个开环测试系统，利用锁相放大器能够对微弱信号进行有效检测的特点，采用交流激励、二倍频拾振的方法，实现了对热激励硅谐振梁压力传感器谐振输出的微弱信号的检测。该测试系统能够快速测得传感器的幅频特性曲线；通过处理，得到传感器的压力-频率特性。整个测试过程由程序控制实现。...