作者：D.K.Bowen,冯克猷 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1990年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1990060020 DOC编号：DOCXDJL1990060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 一、前言“纳米技术”是一门应用新学科，牵涉到许多科学和工程领域。为微电子电路的生产，光学记录和检索机的制造，X 射线天文反射镜的制造和遗传工程中的 DNA 的直接控制等。它们的精度都在100nm 到亚纳米级范围内。有许多方法可以实现纳米级的位移灵敏度，如光学干涉条纹的分度，光学角度变位移的积分，差

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