作者： 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1993年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1993030100 DOC编号：DOCYDSG1993030109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1 声表面波技术93127 液体传感器用ZnO/A1结构拉姆波器件——小池将一.电气学会电子回路研究会资料，1991，ECT—91(6～10)：27～33论述了拉姆波器件，分析了A_0和S_0模式拉姆波的相位速度和机电耦合系数K~2.示出了ZnO和Al膜厚引起的各种模式的K~2的变化情况，给出了适宜各种模式激励的结构.此外，考察了这种器件的插损，给出了器件的试制结果，表明，可制成高灵敏液体传感器.(秦)

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