《化学量传感器》PDF+DOC

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5. 《化学量传感器》PDF+DOC 四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述，离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。因此，在电学性能合格的场效应管上制作高质量的敏感膜就成了ISFET制作的最关键工序之...
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