作者:Erhard Schreck,袁凤 单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版:《中国检验检测》1993年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXDJL1993030100 DOC编号:DOCXDJL1993030109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 1.前言在诸如激光处理、光学存储器件、摩擦热或燃烧室的热性能研究的许多技术领域,测量表面温度的变化是至关重要的。为了获得快速响应时问和高空间分辨率,有必要减小温度传感器的尺寸。此项应用采用薄膜电阻和热电偶传感器是最理想。对达到极限尺寸(≤1μm),电阻传感器的灵敏度下

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