作者:夏建弘 单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版:《仪器仪表与分析监测》1990年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQYB1990040130 DOC编号:DOCYQYB1990040139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 引言一个控制系统应包括电子电路,执行元件,传感器三大部分。由于半导体集成电路工艺的发展,首先完成了电子电路的小型化。80年代初,开始研究半导体传感器,十年的研究,基本上完成传感器的小型化。而执行元件的小型化是最后开始研究,起步较晚的,目前利用压电原理可以做成线性运动的执行元件,而且这个执行元件可以和传感器电子电路集成在一块基片上。本文介绍一种用形状记忆合金(Shape Memory Alloy简称SMA)制造的微型转

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