作者：狄野博,丸山修,韩美 单位：光明化工研究设计院 出版：《低温与特气》1992年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDWTQ1992040140 DOC编号：DOCDWTQ1992040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、绪言近年来，包括电子计算机的电子仪器行业的发展引人注目。该行业的发展，与所使用的部件(半导体元件)制造技术的发展是分不开的，即与半导体元件的制造有关的技术开发，以适用于电子仪器的高性能化的元件的高性能化、高密度化为目标。这些技术的开发，不仅研究新理论和具体实施这些新理论的制造装置很重要，而且，作为材料气和制造过程的保护气的各种工业气体也起到了重要作用。在这种情况下，气体厂要按照

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