作者：徐露,张兆龙 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》1993年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS1993040300 DOC编号：DOCGJJS1993040309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了一种名为Nanostep的触针式精密表面測量仪器，它具有极高的热稳定性，动态測量范围为50nm～50mm。文中讨论了仪器的噪声、直线性、轮廓及起測点重复性。

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