作者：姚圣康,林玉枝 单位：福州大学 出版：《福州大学学报(自然科学版)》1992年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFZDZ1992010050 DOC编号：DOCFZDZ1992010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用低温空气等离子体反应溅射技术淀积ＳｎＯ_２薄膜，研究了ＳｎＯ_２薄膜气敏元件对几种 可燃性气体的气敏效应及其性能；通过掺杂提高了元件的选择性，并对反应溅射机理和气敏机理 作了一些探讨．

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