作者：孙彦卿,石广元 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1993年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU1993050120 DOC编号：DOCDZXU1993050129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展，提出了微机械电子学系统的概念，指出了微机械电子学系统的发展前景。

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