《化学量传感器》PDF+DOC
作者:武世香,虞惇,王贵华
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1990年第06期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1990060140
DOC编号:DOCCGQJ1990060149
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《化学量传感器 第四讲 离子敏场效应器件及其应用 十三离子敏场效应晶体管的应用(一)》PDF+DOC1992年第02期 虞惇,王贵华,武世香
《微结构TRAIL生物传感器的研制》PDF+DOC2005年第01期 张虹,巩祥鹏,韩泾鸿,黄俊琪
《有机敏感材料NO_2气体传感器》PDF+DOC1994年第04期 叶龙,李焰,李敖
《气敏传感器集成化的研究》PDF+DOC1993年第01期 林海安,吴冲若
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《半导体离子敏感器件国内外发展概况》PDF+DOC1987年第03期 张桂成
《基于ISFET的生物传感器研究进展》PDF+DOC2005年第03期 曾磊,王建业,孙晓翔,杨秋冬,黄宜平
第四讲 离子敏场效应器件 五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺 如前所述,在巳制成的Si_3N_4膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的介质膜即可制成相应的敏感器件,而且敏感膜是关系到器件灵敏度、选择性、稳定性、重现性等性能优劣的关键,敏感膜的性能又取决于制膜材料
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