作者:谢会开,王爵树 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1992年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1992040050 DOC编号:DOCCGQJ1992040059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 采用新颍的PIN结构研制的光电位置传感器,主要用于小型相机的自动对焦系统。文中阐述了PSD器件的工作原理以及为获得高反向击穿电压、高极间表面电阻和好的红外灵敏度在结构上和工艺上所作的改进。并对PSD器件进行了测试,得到符合设计要求的结果。

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