作者：徐科军,马文 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1990年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1990030070 DOC编号：DOCCGQJ1990030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文用数值方法计算C型和E型硅膜片电容压力传感器的输入、输出关系及性能指标，给出了能减少非线性误差的新的电极形状。

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