《硅扩散型半导体传感器光刻掩模设计》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《利用硅横向压阻效应的压力敏感器件》PDF+DOC 随着半导体微电子学的发展和计算机的广泛应用，传感器也向着半导体化的方向发展.硅压阻式压力传感器是半导体传感器中历史较久的一种，近年来更向着小型化和集成化的方向发展.但目前的硅压力传感器的核心部分都是由制作在硅薄膜上的四个力敏电阻组成的力敏全桥构成的.图1是它的电路和结构示意图.在无应力时，四个电阻...
2. 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用，学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题，提出了一种应变因子改进算法，与实验结果比较表明该算法的科学性，为多晶硅广泛应用打下一定的理论基础。...
3. 《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。...
4. 《智能压力传感器》PDF+DOC 讨论了压阻式智能传感器的设计，并以80C31单片机为核心构成了一个能检测压力、温度的智能传感器，它能实现量程的自动变换、故障的自诊断及数据的处理，通过软件实现了对半导体传感器的零点修正、非线性修正及温度补偿。实验表明，传感器的智能化改善了传感器的性能。...
5. 《硅压阻压力传感器的近况和应用》PDF+DOC 硅具有显著的压阻效应，是制造硅压阻压力传感器的理想材料.用硅制成的压力传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和进行批量生产、使用方便等特点.本文综述硅压阻压力传感器的最近发展，产品制造用的新技术、性能特点、发展水平；概述硅压阻压力传感器的应用，并对我国硅压阻......
6. 《日本新近的压力传感器》PDF+DOC 在压力传感器中，半导体传感器以它体积小、灵敏度高等突出优点，遥遥居于压力传感器之首。特别是扩散型半导体压力传感器，制造方法同于IC的制造方法，它能与IC相结合，并能和IC线路制造于同一块基板上。目前日本压力传感器主要向着小型化、薄型化及特殊化、集成化、耐高温化方向发展。...
7. 《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC 一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现，但由于涉及到各种技术问题，特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展，到了航空测试设备发展受到传感器影响时，这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后，人们对半导体锗和硅的...
8. 《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传......
9. 《压力传感器温度漂移补偿的应用分析》PDF+DOC 压力传感器是工程中常用的测量器件，由于温度的影响，其零点经常发生漂移，因此需要对它进行温度补偿。文中介绍了硬件零点补偿和软件零点补偿两种方法，补偿压力传感器的温度漂移，提高传感器的性能及测量准确度。...
10. 《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC 运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件，设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了介观压阻效应原理，可以提高压力传感器的灵敏度，为制造基于介观压阻效应的......