《硅绝压传感器封接技术分析与实践》PDF+DOC
作者:佟淑兰
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1992年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1992020110
DOC编号:DOCIKJS1992020119
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分析硅绝压传感器的2种封接技术——金硅共晶法和静电密封法。重点介绍了静电密封法的原理、关键技术、封接参数及密封质量,漏率达1.33×;10~(-10)P_a·;L/s,并强调应将真空膜盒作为静态系统来计算其漏率。
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