《采用环形扩散电阻的硅压力传感器》PDF+DOC
作者:唐祯安,蒋国平,牛德芳
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1992年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS1992060000
DOC编号:DOCYBJS1992060009
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本文通过对C型硅杯式压力传感器工艺误差的分析,介绍了采用环形扩散电阻的优点,设计方法和实验结果。
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