《电容式石英膜盒压力传感器的研制》PDF+DOC
作者:杨乐民,孙光裕,李耀文,袁峰,彭月璇
单位:哈尔滨工业大学
出版:《哈尔滨工业大学学报》1991年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHEBX1991030160
DOC编号:DOCHEBX1991030169
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本文介绍了电容式石英膜盒压力传感器工作原理、石英膜盒结构设计和加工工艺。对配用的测试电路也做了说明,整体石英弹性膜盒的研制成功为脆性材料弹性化开拓了应用新途径并为大气压力无汞测量提供了新的敏感器件。
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