《化学量传感器》PDF+DOC
作者:虞惇,王贵华,武世香
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1991年第06期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1991060140
DOC编号:DOCCGQJ1991060149
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在溶液分析中,被测液的组成大多比较复杂、往往需要同时分析溶液中的多种离子成分,因此ISFET的集成化和多功能化多年来始终是人们追求的目标。由于ISFET在工艺上与MOSFET基本相容,其目标的实现成为可能。 ISFET的集成化分为两大方向,一是改进器件性能,二是扩大器件功能。多功能化指的是器件的用途,但就其制造技术
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