作者：彭士元 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1993年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1993030010 DOC编号：DOCYQYB1993030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 覆盖有气体敏感层的叉指式电容器适用于微电子技术把气体传感器集成化.在加热的膜片上装配上叉指式电容器，使之温度稳定.有意义是使温度梯度横跨大面积传感器的膜.在这项工作中加热器的排列总能够保持温度均匀分布在加热的膜片上.分析的途径和有限的元件对方形膜片通常是估计加热功率分布，设计和制造试验片.制造工艺完全符合标准的双极工艺。

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