《挠性石英加速度传感器伺服电路小型化研制》PDF+DOC
作者:温灵生
单位:航天科技集团公司九院七七一所
出版:《微电子学与计算机》1991年第11期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWXYJ1991110020
DOC编号:DOCWXYJ1991110029
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本文简要介绍一种通用的加速度传感器和相应的利用硅工艺技术与混台集成电路技术研制出的一种小型化伺服电路。
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