作者：王洪业,安志超 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1993年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1993020100 DOC编号：DOCCGJS1993020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对比各种成膜技术制作的传感器中，以高频溅射法者为最佳.成品有长期的稳定性能，在零位时达0.1&#215；10~(-2)/10a水平.除满足航天、兵器、原子能等尖端技术要求外，业已广泛用于石油、化工、汽车等领域中.高频溅射制作传感器的不足处是工艺控制参数多(电压、靶距、气压等)，调节范围又小，以致难于保证成品质量，因此至今只有少数国家掌握它.现介绍给读者的为离子束溅射成膜技术.它既保持了高频溅射法的优点(高熔点膜、附着力强、组成可控)，同时又可克服它的缺点，保证了成膜质量，为制作长期稳定、高可靠传感器提供了一种新的生产技术。

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