《电容式声硅传感器》PDF+DOC
作者:王连生
单位:中国电科技集团公司第三研究所
出版:《电声技术》1993年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDSJS1993010030
DOC编号:DOCDSJS1993010039
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本文报道了传声器或声传感器领域新的进展,它们基于电容式换能原理,在硅片上制作完成。这种超小型传感器,通过微切削加工方法制造,如化学或等离子蚀刻方法,由膜片和背极板组成。膜片面积约1mm~2,厚度不到1μm。背极板具有无源和有源两种结构:无源式背极板上有一些孔和沟槽,用以减小空气隙的劲度和流阻;有源式背极板上含有场效应管的漏极、沟道和源极区域。后种情况的栅极由膜片提供。无
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