《红外厚度传感器的设计》PDF+DOC
作者:张鸣华
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1992年第05期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1992050040
DOC编号:DOCCGQJ1992050049
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论述了适合于测量含(CH、CH_2、CH_3)基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。
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