《双敏薄膜气体传感器的研究》PDF+DOC
作者:廖清华,戴国瑞
单位:南昌大学
出版:《南昌大学学报(工科版)》1992年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNCDG1992020090
DOC编号:DOCNCDG1992020099
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我们用PECVD技术制备了一种既对NO_2气体敏感又对C_2H_5OH气体敏感的多层结构薄膜,用这种薄膜制作的旁热式气体传感器,通过改变热丝电压,不仅可以检测出NO_2气体,又可以检测出C_2H_5OH气体,而且不受常见气体的干扰,这是一个双敏薄膜气体传惑器。
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