作者：J.Knapp,胡奇伟 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1991年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1991060140 DOC编号：DOCYDSG1991060149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 具有可变空气间隙几何形状的差动电容式传感器能在高达900℃的高温下测量机械参数。本文将表明陶瓷，尤其是氧化铝，是用作电容传感器的多用途材料。工艺技术细节包括激光切割，溅射镀膜，氧化铝元件的反应焊接，电气连接和电缆中的氧化铝，以及新的应变和位移传感器都举例作了说明。

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