作者：陈德英 ,唐国洪 单位：东南大学 出版：《电子器件》1991年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1991030060 DOC编号：DOCDZQJ1991030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在微机械加工中，硅的各向异性腐蚀是关键技术之一.特别在当今微机械加工向微型化、多功能化及智能化发展之际，更需利用硅的各向异性腐蚀来制备三维结构.对于单晶硅材料，主要腐蚀剂如表1所示。

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