《半导体场效应型气体传感器的研究现状与未来》PDF+DOC
作者:牛蒙年
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1993年第03期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1993030020
DOC编号:DOCCGQJ1993030029
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集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。
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