《用于较高压力传感器的膜片设计与分析》PDF+DOC
作者:孙富峰
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《半导体技术》1991年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTJ1991010080
DOC编号:DOCBDTJ1991010089
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,赵广波
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,刘通
本文通过分析比较,提出了传统C型硅杯高压力传感器的设计方案及实验结果。
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