作者:张焱 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1993年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1993010000 DOC编号:DOCCGQJ1993010009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺》PDF+DOC1994年第01期 张炎,林鸿溢 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC2001年第01期 李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 《强度调制的啁啾光纤光栅加速度传感器》PDF+DOC2015年第06期 杨淑连,申晋,李田泽,贾宏燕,盛翠霞,魏芹芹 《爆炸冲击条件下的加速度传感器结构分析》PDF+DOC2017年第02期 刘波,杨黎明,李东杰 《低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析》PDF+DOC1999年第01期 朱目成,夏季,马德毅,刘强,孟念湘,徐培君 《内装集成芯片的压电加速度传感器》PDF+DOC1998年第01期 曹永上,沈其栋 《隧道加速度计的发展概况》PDF+DOC1999年第03期 史建伟,陈德英 《新型差动式集成硅微声传感器》PDF+DOC1996年第S1期 徐涛,钟先信,温志渝,费龙 《GaAs电阻的压电调制效应》PDF+DOC1993年第05期 黄庆安,童勤义 《双光纤光栅高频加速度传感器的研究》PDF+DOC2012年第06期 罗裴,田建伟,王立新
  • 带质量块的集成硅压电式加速度传感器是硅刻蚀加工与硅集成电路技术相结合的产物,它取得了近直流响应,灵敏度高等极佳的综合性能。重点介始了该传感器的结构和工艺,并简述了发展概况。

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