作者：张九惠,沈桂芬 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1991年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB1991010040 DOC编号：DOCYQXB1991010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构，分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微压传感器的灵敏度作了分析，与同尺寸的圆形膜片比较其灵敏度提高了20%。最后较详细的讨论了微压传感器研制中关键问题——各向异性腐蚀技术。

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