《SDB技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC
作者:张佐兰
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1991年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1991060070
DOC编号:DOCCGQJ1991060079
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本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。
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