《高精度低滞后电容压力传感器的研制》PDF+DOC
作者:钱俞寿,王平
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1992年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1992030110
DOC编号:DOCCGJS1992030119
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在国内,要求耐高温、高压(150℃,70MPa),高精度(0.1%FS),低滞后(0.1%FS),适合于深井用的电容式传感器,目前尚属空白,本文就为此而作.被测压力P作用于弹性膜上时,由于被测压力很高,弹性膜必须采用厚膜。
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