《钻石基板MEMS谐振器问世 突破微波领域新纪录》PDF+DOC
作者:
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2016年第06期
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PDF编号:PDFCGSJ2016060130
DOC编号:DOCCGSJ2016060139
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MIPT超硬与新奇碳材料技术研究所(TISNCM)与西伯利亚联邦大学研究人员最新研究了一种较硅晶压电更快的“声波”谐振器——钻石基板MEMS谐振器,已经成功地模拟超灵敏的传感器,突破微波领域的新纪录。
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