《集成三漏CMOS磁敏传感器》PDF+DOC
作者:张维新,楼利民,毛赣如
单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版:《Journal of Semiconductors》1993年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTX1993090100
DOC编号:DOCBDTX1993090109
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本文介绍了一种新颖的集成三漏CMOS磁敏传感器。报道了该传感器的电路原理、版图设计及其研制结果。它具有结构简单、磁灵敏度高和使用方便等特点,且制造工艺与标准铝栅CMOS工艺完全兼容,成本低、易于批量生产,具有高的性能/价格比。
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