作者：吕文选,钟茂声 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》1992年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ1992010150 DOC编号：DOCGTDZ1992010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文讨论微波固体源作为测量电量、非电量有源传感器的工作原理。指出频带反射高Q腔稳耿氏振荡器适于作为有源传感器，用它取样测量电容介质(ε_τ(?)2～3)薄膜的厚度，量程：200μm，分辨率≤&#177；0.1μm，介质微扰稳频腔产生的振荡器频偏⊿f与其厚度d具有很好的线性关系。频偏的实验值与微扰方法计算值吻合良好。

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