作者：李志能 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》1990年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC1990020040 DOC编号：DOCGDGC1990020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文描述了微机械谐振式硅桥传感器的工作原理，硅桥制作过程以及传感器的工作特性。讨论了传感系统的检测灵敏度与光纤头到硅桥表面距离的关系。实验结果表明，激励硅桥谐振的光功率是在10～450μW，探测信号的光功率在300μW时，其系统的信噪比为25～40dβ，它具有重要的实际应用价值。

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