《热效应最低的新型电容压力传感器》PDF+DOC
作者:Peter V.Loeppert,林驹
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1992年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1992030150
DOC编号:DOCXDJL1992030159
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1.前言基于电容原理的压力传感器,特别适用于几个英寸水柱的微小压差测量。为了把热效应降到最低限,而把稳定性提高到最大限度,不采用玻璃—硅夹层式的结构,而采用全硅结构。本文采用的方法是与 CMOS 信号处理电路
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