《在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器》PDF+DOC
作者:KYOICHI IKEDA,孙海涛
单位:陕西鼓风机(集团)有限公司
出版:《工业仪表与自动化装置》1992年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGYZD1992030140
DOC编号:DOCGYZD1992030149
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引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外,谐振传感器因为它们输出频率而适于把信号传送到计算机。
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